一、電子工業(yè)用超純水概述
電子工業(yè)用超純水來清洗,像半導體,液晶顯示,高精度線路板,還有一些電子器件和微電子工業(yè)等。集成電路的集成度跟水質的要求有著密切聯(lián)系,集成度高,對水質的要求也隨之提高。行業(yè)標準中,把電子工業(yè)部電子級水質分為五種,即0.5MΩ.cm、2MΩ.cm、10MΩ.cm、15MΩ.cm、18MΩ.cm,用這五個標準來區(qū)分不同水質。
二、電子工業(yè)用超純水設備的工藝流程
1、超純水的傳統(tǒng)工藝中,離子交換樹脂的技術基本工藝流程是,原水經過砂碳過濾器處理再進入精密過濾器,經過陽、陰兩床后用混床到達純水箱,再由純水泵進入后置精密過濾器達到用水點標準。
2、反滲透與離子交換法混合的工藝流程是原水經過砂碳過濾器處理進入精密過濾器,由經過反滲透設備到達純水箱,后經過混床處理到達超純水箱,后由超純水泵加壓到后置精密過濾器完成用水點。
三、電子工業(yè)超純水設備特點
現(xiàn)在一些設備的水箱中均設有液位控制,一些泵中也設有高低壓保護。可以在線檢測水質的儀表也有PLC的編程控制器。構成電子工業(yè)超純水設備的主要系統(tǒng)有三大預處理過濾器,還有一個反滲透主機再加上離子交換混床等。這種先進工藝設備為用戶解決了很多問題,真正的做到了無人看守,與傳統(tǒng)工藝相比,性價比和設備的可靠性更高。