典型應用A：化學品過濾
在半導體制造中化學品過濾，主要有兩個方面的挑戰(zhàn)，首先是過濾材料對化學品的適應能力，不得當?shù)牟牧线x擇，會造成重大的質量事故，而用于半導體的化學品多為強酸、強堿和一些腐蝕性極強的物料，所以包括過濾容器在內，多使用PVDF（聚偏氟乙烯）和PTFE(聚四氟乙烯)材料。另外一個方面就是對精度的挑戰(zhàn)也達到了極限，0.04/0.1/0.22μm的過濾是經常被使用的，而且其去除效率要達到99.9999%，而且在極端條件下的COD析出值也要控制在ppb等級。
由于潔凈度的高要求，就在化學品的轉運的沒個環(huán)節(jié)幾乎都安排了過濾器，在供應商運送物料的槽車上，在輸送的管路上；到每一個使用設備的進料口，都嚴格按要求提供。
